시노펙스의 UPE필터

시노펙스가 서울 코엑스에서 2월 1일부터 3일까지 개최되는 ‘세미콘 코리아 2023’에 참여해 국내 업계 최초로 개발된 올(All) 테프론(ePTFE) 필터 제품을 비롯해 다양한 제품과 기술을 선보인다.

세미콘 코리아는 국제반도체장비재료협회(SEMI)가 주최하는 세계적인 반도체 산업 관련 전시회로 최신 반도체 재료, 장비 및 반도체 기술 심포지엄 등이 진행되며 올해 국내외 450개 업체가 참여할 예정이다.

시노펙스는 이번 전시회에 반도체 핵심공정에 사용되는 전략필터 3종을 비롯해 각종 필터제품을 전시하며, 반도체 공정에 사용되는 고성능 멤브레인 필터를 적용한 시노텍스 마스크 및 정수기 시제품을 전시할 계획이다.

특히 시노펙스는 국내 업계 최초로 올 테프론 소재를 적용한 200나노급 제품을 선보일 예정으로 업계의 이목이 집중될 전망이다.

올 테프론 필터는 반도체 제조공정 중 식각 공정에서 사용되는 불산, 황산 등 강한 산성 물질에서도 견디는 소재로 현재 전량 수입에 의존하고 있다. 시노펙스는 2015년 연료전지용 PTFE 강화막 국산화 프로젝트를 통해 연구개발을 시작했으며 이번에 첫 제품 개발에 성공했다.

또한 반도체 핵심공정인 PR공정 및 소재에 사용되는 UPE필터는 100나노급 제품으로 올해 2분기에는 첫 매출을 기대하고 있으며 이번 전시회를 통해 적극적인 마케팅을 진행할 계획이다.

시노펙스는 전량 수입에 의존하던 CMP필터를 국산화해 글로벌 탑(TOP) 반도체 기업의 점유율 1위를 기록하고 있으며, CMP필터를 50나노급으로 개발하는 국책과제를 진행하고 있다.

시노펙스 노시갑 부사장은 “반도체는 전 세계적으로 기술 경쟁이 치열한 분야며 시노펙스는 멤브레인 소재 기술을 기반으로 고객이 원하는 성능의 필터를 개발해 공급하는 데 주력하고 있다”고 말했다.

이어 “첨단소재인 ePTFE를 비롯해 앱솔루트급 MB, PVDF 등 소재에 나노 기술을 적용한 제품으로 고객사의 경쟁력 확보에 도움이 될 수 있는 제품을 지속적으로 개발하겠다”고 밝혔다.